煙花三月,江南之春生機勃勃。近日,全球半導體“嘉年華”——SEMICON/FPD China2026在上海舉行,燃動半導體產業的創新活力引擎。蘇州工業園區企業成川科技(蘇州)有限公司在展會期間正式發布自主研發的第五代天車系統,持續用技術與創新為中國半導體產業奔赴未來再添強勁新動能。

天車是半導體自動物料搬運系統(Automatic Material Handling System,簡稱AMHS)的核心設備,也是半導體卡脖子技術之一,長期被國外公司壟斷。成川科技是中國領先的半導體自動物料搬運系統整體解決方案供應商,2020年在園區成立。公司聚焦半導體行業,專注AMHS及天車技術,在國產化浪潮中不斷獲得突破,逐步打破海外廠商對天車系統的壟斷,從封測到晶圓不斷擴大天車應用規模,并率先將天車系統應用在MicroOLED、IC高階載板、SiC化合物半導體等新領域,開創多個行業先河。截至2025年底,企業累計獲得19個天車整線項目訂單,成功交付11個,天車訂單量突破500臺,軌道鋪設超30000米,為國內半導體產業創新發展提供了有力支撐。

一直以來,AMHS被譽為半導體制造產線的“大動脈”,貫穿從硅片投入、晶圓加工、封裝測試到出廠的全流程,其性能高低直接決定著生產效率與產品良率。因技術壁壘高,該領域長期受海外廠商掣肘,嚴重制約國內半導體產業發展。成川科技則以技術創新為核心,攻克天車高精度定位、多設備協同調度、高效率精準響應、潔凈環境適應性等多項行業難題,在園區這片創新創業的沃土奏響了自立自強的科技創新時代交響。

第五代天車
2020年,成川科技創業伊始便投入研發,用近一年時間成功自主研發第一代天車及潔凈立庫,并搭建了國內首條半導體場景AMHSDEMO線;2022年完成國內首個12寸先進封裝線AMHS整線項目驗收,打破海外廠商在高端AMHS領域的壟斷;2023年將天車系統首次應用到MicroOLED、IC高階載板領域,并成功完成針對晶圓廠場景的第二代軟件系統的迭代;2024年上線第四代天車,首次應用到12寸晶圓廠場景,并在2025年成功獲得客戶的最終驗收,樹起國產天車系統新的里程碑,實現從封測到晶圓制造的全產業鏈覆蓋;2026年發布具身能力更強的第五代天車……
6年來,成川科技聚焦天車系統這一技術制高點,構建了從核心零部件到軟件調度系統的完整自主知識產權體系,持續迭代升級天車系統,同步建立了較為完善的配套產品線。其中,企業自主研發的第四代天車系統,其關鍵性能參數已比肩國際一線品牌;自研的軟件系統不僅可以根據產線實時數據動態調整物料搬運路徑,還能消除人為錯誤損耗,實現信息追溯及缺陷快速診斷分析,有效降低人員成本,提升工程能力、產品良率和設備效率,實現產線綜合效率超15%的提升。企業也憑借持續的技術創新、產品迭代,一年一個新臺階,堅定地從封測領域向晶圓廠穩步邁進。

企業的快速崛起,不僅為國內AMHS行業樹立了標桿,更為半導體制造全產業鏈的國產化升級注入了強勁動力。在成川科技創始人、總經理顧曉勇看來,這是園區給予企業的發展底氣。“園區完整的產業鏈、成熟的金融支持賦能體系,為企業快速成長提供了優質的生態土壤。獨特的區位優勢,又促成了企業與上海交通大學、東南大學等高校建立起緊密型產學研合作,加快推動技術、產品的研發落地。”他表示,未來成川科技將扎根園區,繼續以創新為驅動力,深耕AMHS領域,加速新產品、新技術在實際項目中的驗證,加強AI、數字孿生等前沿技術的研發應用,加快全線融入晶圓制造,為中國乃至全球半導體制造企業提供更高效、更智能的整體解決方案,加速推動我國半導體產業實現從“跟跑”“并跑”到“領跑’的跨越。
編輯 顧雅芳
2026年3月26日
